Manyetik olarak desteklenmiş düşük voltajlı deşarj sistemi ile 250 eV-2000 eV arasındaki enerjilerde iyon koparılmasını sağlayarak vakum çemberi içinde hareket etmesini sağlar. Koparılmanın ardından iyonlar, vakum sisteminde, çok delikli, eleğe benzer bir ekran üzerinden substrat üzerinde etkili olurlar. Ticari olarak kullanılan iyon tabancası sistemleri, 2000 eV enerjide 1 mA/cm2 akım yoğunluğunda ve 10 inch çapında argon iyon demeti sağlayacak kapasitede sistemlerdir. İyon tabancası sisteminin en büyük avantajı, katmanlama parametrelerinden bağımsız olarak iyon bombardımanı parametrelerinin kontrol edilebilmesidir. Diğer bir iyon bombardımanı tekniği olan gaz deşarjlı saçtırma işlemleri için bu bir dezavantajdır.
Daha fazla bilgi için:
wikipedia, wiki, viki, vikipedia, oku, kitap, kütüphane, kütübhane, ara, ara bul, bul, herşey, ne arasanız burada,hikayeler, makale, kitaplar, öğren, wiki, bilgi, tarih, yukle, izle, telefon için, turk, türk, türkçe, turkce, nasıl yapılır, ne demek, nasıl, yapmak, yapılır, indir, ücretsiz, ücretsiz indir, bedava, bedava indir, mp3, video, mp4, 3gp, jpg, jpeg, gif, png, resim, müzik, şarkı, film, film, oyun, oyunlar, mobil, cep telefonu, telefon, android, ios, apple, samsung, iphone, xiomi, xiaomi, redmi, honor, oppo, nokia, sonya, mi, pc, web, computer, bilgisayar
Manyetik olarak desteklenmis dusuk voltajli desarj sistemi ile 250 eV 2000 eV arasindaki enerjilerde iyon koparilmasini saglayarak vakum cemberi icinde hareket etmesini saglar Koparilmanin ardindan iyonlar vakum sisteminde cok delikli elege benzer bir ekran uzerinden substrat uzerinde etkili olurlar Ticari olarak kullanilan iyon tabancasi sistemleri 2000 eV enerjide 1 mA cm2 akim yogunlugunda ve 10 inch capinda argon iyon demeti saglayacak kapasitede sistemlerdir Iyon tabancasi sisteminin en buyuk avantaji katmanlama parametrelerinden bagimsiz olarak iyon bombardimani parametrelerinin kontrol edilebilmesidir Diger bir iyon bombardimani teknigi olan gaz desarjli sactirma islemleri icin bu bir dezavantajdir Daha fazla bilgi icin Fiziksel Buhar Biriktirme Ince film kaplama teknikleri Iyon kaplama Gaz desarji